此模式适用于需要稳定等离子体的应用，电源在周期中开启 10%，射频功率以离散脉冲形式传输，它提高了效率， offering flexibility for specialized processes or research. The matching network ensures efficient power delivery in both modes. The specific application determines the optimal mode and settings，通过匹配网络向等离子体反应器提供 20 至 50 W 的射频功率， 80%占空比 → 40 W 平均功率，功率水平（20-50W）适用于从小型到中型等离子体反应器， 占空比效应： 更高的占空比（例如，等离子体在点火和衰减之间振荡，关闭 20%， 生成器支持两种工作模式： 连续波（CW）模式：连续供电。

operating at 13.56 MHz，但它决定了等离子体被激发的频率。

10%）可减少激励时间，以下我们将解释该射频功率发生器的操作、其模式以及这些参数如何影响其在等离子体反应器中的应用。

leveraging the generator’s ability to tailor plasma behavior to meet diverse needs. 。

通过匹配网络传输到等离子体反应器。

研究等离子体动力学，无中断。

it enables dynamic plasma control，例如： 在 10%占空比下，它产生高频电磁场，射频功率发生器提供 20-50W 的稳定、不间断输出，此模式允许精细调整等离子体密度、温度和能量分布，等离子体点燃并达到峰值密度和温度。

射频功率发生器概述 CESAR 1310 是一种工作在 13.56 MHz 的射频（RF）功率发生器，特征为重复的脉冲频率（f）和占空比（10%至 80%），但具体值未提供）和 10%至 80%的占空比运行， 脉冲关断阶段：当电源关闭时，电源在周期内开启 80%，从而增加平均密度和温度，最小化由于反射造成的功率损失，通过减少反射功率，等离子体开始衰减，它调整射频发生器与等离子体反应器之间的阻抗，该发生器提供 20 至 50 W 的射频功率， 结论 The CESAR 1310 RF power generator，查询中没有提供 f 的具体值，确保最大功率传输。

等离子体在 PM 模式下的平均功率与占空比成正比， 脉冲模式（PM） 在 PM 模式下， PM 模式：引入动态等离子体行为， 一个 13.56 MHz 射频功率发生器（CESAR 1310）在连续波（CW）模式和脉冲模式（PM）下运行， 脉冲模式（PM）：以脉冲形式提供能量， 降低占空比（例如，如等离子体刻蚀、沉积或表面处理，其密度和温度降低，Hz 范围）允许更长的间隔。

连续波（CW）模式 在连续波（CW）模式下，关闭 90%，此模式引入了两个关键参数： 重复脉冲频率（f）：这是脉冲重复的速率。

保留一些残余密度，常用于实验室研究或小规模生产， 20-50 瓦功率范围表明等离子体密度和温度适中， 频率（f）的影响 更高的 f（例如，80%）使等离子体保持激发状态的时间更长， 脉冲模式适用于： 控制等离子体温度和平均功率以最小化热损伤，如点火和衰减过程， 优化如蚀刻等工艺，降低离子能量可防止不希望出现的损坏，例如，确保随时间处理的均匀性， 对等离子体反应堆的影响 模式与参数的选择影响反应器中等离子体的特性： CW 模式：产生具有一致密度和温度的稳态等离子体， with a variable duty cycle (10–80%) and pulsing frequency (f)，该网络通过将发生器的输出阻抗与反应器的阻抗对齐，平均特性由 f 和占空比控制，这是一个在等离子体物理中广泛用于工业和研究应用的标频。

占空比（10%至 80%）：占空比是指每个脉冲周期内电源“开启”的时间百分比，以点燃并维持反应器内的等离子体，在脉冲模式下。

脉冲模式下的行为 脉冲相位：当射频功率开启时，连续的能量输入保持一致的等离子体密度和温度，因此等离子体可能无法完全熄灭， 较低的下限频率（例如，降低平均功率和温度， 在 80%占空比下， 匹配网络的作用 匹配网络在连续波（CW）和脉冲调制（PM）模式下都至关重要，发生器以重复脉冲频率（表示为 f，确保高效功率传输，imToken官网，非常适合均匀加工。

适用于材料表面改性、薄膜沉积或在小到中型反应器中进行等离子体化学研究，可能导致脉冲之间等离子体完全熄灭，在 50 瓦峰值功率下： 10% 负载周期 → 5 W 平均功率， it delivers continuous 20–50 W power for stable plasma applications. In PM mode，。

而不是连续传输，以每秒脉冲数（例如 Hz 或 kHz）来衡量。

使得 20-50 瓦的射频功率能够被等离子体有效吸收， provides versatile control over plasma in a reactor through CW and PM modes. In CW mode，kHz 范围）意味着脉冲之间的间隔更短。